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探针台的选型方法
作者:吴
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通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:

1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件? 
2、 探针台机械精度要求多高? 
3、 点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的mini pad,还是ic内部的metal? 
4、 最多需要几根探针同时去点测? 
5、 是否会用到探针卡? 
6、 光学显微镜的最小分辨率需要用到多少? 
7、 显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测? 
8、 探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下?低电容的要求是否要做到0.1pf?是否有射频的需求?
9、 接驳的测试仪器接口有哪些? 
10、测试环境时是否会需要加热或者降温? 
11、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck? 
12、是否需要防震桌? 
13、若添置防震桌,是否有压缩空气?(end)
文章内容仅供参考 (投稿) (2016-7-25)
深圳市森东宝科技有限公司联系方式:
网址: http://www.cindbest.com 电话:86-0755-29412885
地址: 中国·广东·深圳市南山区留仙洞工业区
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