作为具有丰富石英晶体生产经验公司,日本爱普生拓优科梦公司(Epson Toyocom)又在产品线中新增了一种类别,称为QMEMS。该公司商品企划战略部课长宫泽辉久表示,所谓QMEMS是指那些对石英原料使用精密加工(光刻)技术,集结了机械、电子、光学、化学等相关的各种功能,具备高精度,高稳定性等附加价值的晶体元器件。目前,Epson Toyocom的QMEMS器件阵容分为三类:定时元器件,包括音叉型晶体、HFF(High Frequency Fundamental)晶体单元和印刷蚀刻工艺;传感元器件,包括陀螺仪传感器;光学元器件。
图1:QMEMS印刷蚀刻工艺的优点
Epson Toyocom是精工爱普生公司(Seiko Epson)旗下的石英组件事业部与东洋通信公司(Toyo Communication Equipment)合并而成。之前,Toyocom具有将近80年的石英晶体生产经验,擅长制造特殊规格的高精度AT-Cut石英晶体组件。而Epson则致力于利用平版印刷技术生产音叉型石英晶体组件(32.768kHz)。美国DEDALUS公司2007年11月数据显示,Epson Toyocom晶体元器件全球市场占有率为23%。
但也有业内人士对此持不同意见。据Wicht Technologie Consulting(WTC)介绍,在消费电子和自动化电子产品微型化生产及在单CMOS芯片上多振荡器片上系统MEMS的驱动下,MEMS振荡器正以120%的年增长率代替石英振荡器。现有的250万美元的MEMS振荡器市场在2012年将增长到1亿4千万美元。2012年之后,MEMS振荡器将在手机定时芯片方面达到10亿美元的市场价值。