Manz新一代生产工艺采用VCS 1200电浆辅助化学气相沉积(PECVD)垂直式真空镀膜系统在电池背面沉积氧化铝钝化层,结合Manz LAS 2400激光开孔技术,可帮助电池生产企业在实现高效晶硅太阳能电池规模化生产的同时将拥有成本降至最低。与市场同类系统相比,Manz易于维护的全自动化设备体积更小、效率更高,适用于单晶硅和多晶硅太阳能电池生产。Manz可为客户同时提供必要的生产设备和工艺技术,帮助其升级标准电池生产线来生产更高效的PERC电池。
电极开孔,是一款操作简单、高精度、高产出的解决方案。
此外,Manz还提供了业界领先的湿化学处理工具IPSG CEI 4800,可与VCS 1200和LAS 2400生产工具配备形成一套完善的技术解决方案。IPSG CEI 4800主要用于去除硅片背面及边缘的重掺杂层,从而形成化学除边(CEI)。并在接下来的流程中,去除在之前扩散过程中残留在硅片正面的磷硅玻璃(PSG)层。由于应用了柔软的海绵辊和最小化基板压力的概念,IPSG CEI 4800可实现最低破片率。Manz集团首席执行官兼创始人Dieter Manz表示:“中国是目前世界最大的太阳能电池生产国,同时也是最大的消费市场之一。Manz很荣幸能参与其中,亲历中国太阳能产业成就辉煌。我们在太阳能产业拥有25年的丰富经验,全球主要电池生产企业基本上都是我们的客户。在激情成就高效能的公司理念指引下,我们一直通过不断创新来保持领先于竞争对手的市场地位。”