机器视觉在拉单晶硅过程中的应用

作者：上海昊视信息科技有限公司

欢迎访问e展厅 展厅 10 机器视觉展厅 工业相机, 镜头, 视觉传感器, 图像采集卡, 视觉光源, ... HewSight公司开发的单晶硅棒实时监控系统，采用高分辨率CCD相机、配合专业的机器视觉检测软件，可对单晶硅生长的整个过程进行监控，为晶体的直径控制提供必要的技术手段。 1 测量方法 在单晶硅炉的观察窗外架设一CCD相机，辅以隔热护罩及滤镜，从斜上方对固态晶体与液态融液的交界处形成的光圈进行测量。 可根据用户的要求定制与控制系统进行数据通讯的接口，如：将监控软件嵌入到组态软件中，或将数据转化成数字或模拟信号传送给控制器。 2 技术规格 · 可对4、6、8、12英寸的单晶硅棒进行测量。 · 可自动对引晶——放肩——收肩——等径过程中的晶体直径进行测量。 · 可对坩埚中的液面高度进行测量。 · 可检测晶种（籽晶）与液面的接触状态。 · 测量精度 0.1 mm。（注：按标准相机配置，采集分辨率1392×1040；可根据用户要求配置相机。） · 测量速率：每秒15个数据。 3 算法特点 · 亚像素的边缘检测算法，精确检测出固液交界面的光圈上的点列。 · 高精度的椭圆拟合算法，可剔除晶癖线上的点、避免硅棒晃动的影响，准确的得到光圈的直径和中心。 · 采用FIR数字滤波器（Chebyshev最佳一致逼近）进行数据后处理，进一步去除由硅棒转动而产生的噪声，输出高信噪比的信号。 · 可根据用户需求定制特殊的检测项目。 4 软件特色 1) 可任意增加新的检测品种，只需重新设置参数即可。 2) 产品配置可保存，程序运行时选择待测产品的型号即可导入其配置参数。 3) 可手动或自动保存图像，并可设定最大保存数。 4) 可对已保存的图像进行回放，并查看图像处理结果。 5) 在屏幕上直观的显示检测结果和状态信息，并可在不同的视图显示模式中切换。 6) 人机界面简单：只需大致调整处理区域并设置少量参数即可。 7) 参数设置具有密码保护功能。 8) 自动软键盘，方便触摸屏操作。 9) 程序界面显示当前产品型号。 · 产品选择 · 图像参数设置 · 系统参数设置（力控组态软件通信设置） · 拉晶全过程 · 数据滤波 (end)

文章内容仅供参考 (投稿) (6/26/2010)