使用白光干涉仪过程中的疑问

作者：中国仪器超市

欢迎访问e展厅 展厅 4 光学仪器展厅 显微镜, 金相显微镜, CCD摄像机, 水准仪, 光谱仪, ... 1、问：测量到最小尺寸能否达到12ΜM ，或者能够测到更小尺寸？ 答：可以 ，垂直分辨率 是 0.1 nm， XY分辨率依物镜而有不同分辨率，垂直扫描范围是150μm ，x、y测量行程超过100mm。 2、问：载物台的尺寸一般是多大？测量最大高度是多大范围？Z轴测量的最高精度是多少？ 答：手动载物平台的尺寸：XY：150mm x 100mm Tip/Tilt：±3°PZT 扫瞄器的行程为150 μm ，故最大可能量测范围是150μm ， 但请须考虑到载物台，超过150μm ，可以视具体情况加高定做。Z 轴的运动精度在2个μm ，其每一步的扫描精度在75nm。 3、问：投影扫描出来的图形能够一张张的图片拼成一个整体的物件图形？能否做到无缝连接？能否进行三维图形整合？ 答：可以的，我司扫描出来的图形通过另一款分析软件可将扫描出的图形做到无缝拼接，而扫描出的图形本身就有二维和三维的，所以三维图形整合也是没问题，我们把这个叫做图形缝纫。 4、问：运用平台的移动跳动精度（重复精度）什么范围？三轴线性精度范围？ 答：SIS-1200机型因是手动平台，故没有办法提供精确的移动再现性(人的手没办法每次都有精确的重复移动)三轴的运动精度分别为 X、Y轴5个μm ，Z轴在2个μm。 5、问：能否配有标准目镜？ 答：目镜：以CCD取代目镜，故没有目镜，但可以直接从计算机屏幕上看到影像。 物镜：请查看敝公司提供给贵公司的物镜清单，客户可以加购其他的镜头。 6、问：测量标准件是什么依据？有何验收方式？那些国际标准可送的检验标准件？ 答：敝公司有标准片做为校正依据。 7、问：验收方式：确认设备的量测性能规格(依标准片量测) 答：1sigma(同点量测20 次) < 规格数字(一般是1 sigma <10nm 或是 3 sigma<，简单的判定一般都是设备调试OK后，测量标准块20次，其重复性在10个nm 8、问：白光干涉仪为何如此昂贵？ 答：白光干涉仪是测量达到纳米级的设备，目前世界上没有几家能够研发生产，它对生产试验环境都有很高的要求，而且设备有许多高精度的核心部件。您想一想，1000个纳米才是一个微米，所以如果要加工出这样的设备，无论从硬件还是软件上，难度是可想而知的。 9、问：安装和使用环境有特别要求吗？ 答：温度：20 ºC+/-1；湿度：39% +/- 4%；噪音：75DB；电压：220V；电流：MAX3A，正常2A。 10、问：白光干涉仪和激光干涉仪有何区别？ 答：有一点您应该知道，就是说无论是激光干涉仪还是白光干涉仪，他们利用的都是光的干涉原理，从字面来理解呢，他们很重要的一个区别就是光源，那么激光和白光做光源到底有什么区别呢。 11、问：为什么有的产品叫作白光干涉显微镜？ 答：其实白光干涉显微镜和白光干涉仪是同一个概念，之所以叫显微镜是因为在我们一般的概念中，都有目镜和物镜，物镜大家也知道有10倍，20倍等几个可切换的倍率。白光干涉仪也一样，有几个可以切换的物镜，所谓的目镜其实就是CCD，再者大家也知道这种设备利用的是光的干涉原理，所以说 ，为什么有的人叫它干涉显微镜，有的人叫它干涉仪，实际上是一样的。 12、问：白光干涉仪能测量三维尺寸吗？ 答：在量程范围内是可以的，但白光干涉仪主要还是应用在为尺寸产品的微观量测，包括表面粗糙度，表面轮廓，高度，长宽等检测。 13、问： 该设备的聚焦方式为何？ 答： SIS-1200plus是手动调焦，SIS-2000在不同对象时也是由人控制聚焦（自动对焦行程只有150μm），但如果多次相同性对象，机台可teaching自动到设定的点位，所以自动机的优势在相同的固定产品量测。 14、问：该设备 平面测量的精度为何，重复性是多少？ 答： 平面测量的重复性是base在高度标准片下，1个sigma 小于10nm，而精度则在0.75%内。 15、问：该系列产品垂直扫描范围有多大？ 答： SIS-2000和SIS-1200的垂直扫描范围是0.2μm到150μm。 16、问：测量样品的表面反射情况对测量有影响吗，有无具体数字上的界限？ 答：正常情况下是不太有影响的，最好还是拿sample回来试，我们也是有遇到全无反射光而无法量测的情况。 17、问：花岗岩下面为何是气浮式的？ 答：是为了隔离震动，因为这种设备您知道他是纳米级的，所以任何一点小的震动，都可能对测量的数据有影响，而这种微小的差异肉眼是察觉不到的。（最好再简单强调一下气浮隔离震动的原理） 18、问：该设备的核心部件是自己生产的吗？ 答：我们的光学部分是日本NIKON，而目前日本NIKON的光学精密部件大家知道是世界上做的最好的，而整个机器的设计，组装，控制电气部分，软件全部由韩国SNU自己研发完成，在对设备的应用及解决行业内的问题，SNU无疑是首屈一指的。 19、问：该设备光源的中心波长是多少？ 答：该设备 光源为白光，也是可见光，其波长范围是可见光的波长范围在0.77～0.39微米之间。 20、问：工作台部分可倾斜一定角度有何作用？ 答：只是提供初步的水平调整用，可是只有SIS-1200Plus 有此功能，自动机台是没有的。 21、问：横向分辨率和纵向分辨率为何有差别？ 答：纵向分辨率是固定的而且很高，横向分辨率在不同倍率下是不同的，他们检测原理也是不同的。 22、问：该设备有几种软件界面？ 答：有两款软件界面，一款测量软件，一款为分析软件 23、问：该设备手动和自动如何区分？ 答：Stage不同，控制程序可以设定planning，自动判定等等，看如何运用。 24、问：测量产品时机台因气浮式隔离，可能会晃动，是否会对测量产生影响？ 答：隔离器的作用就是防止震动，因该设备为纳米级的设备，所以外界轻微的震动都会对测量造成影响。在使用过程中呢，如果没有通气，您会明显看到干涉条纹的晃动，但是正因有此气浮隔离器的存在，所以当外界存在震动时，花岗岩平台是稳定的，当然如果你刻意的推动花岗岩工作台时，肯定对测量有影响了。 25、问：变换镜头倍率是否需要重新校正，在不同倍率其重复性是否相同？ 答：变换倍率后不需要重新校正(使用之前有校正过，倾斜工作平台，粗调精调等部件没有被动过，一般在变换倍率后不需要重新校正。 26、问：扫描方向对测量有无影响，是否固定为从上往下或从下往上？ 答：一般都是从上往下扫描。 27、问：PZT是什么，其作用是什么？ 答：PZT是压电陶瓷驱动器，产生相位移，使得干涉条纹间的相位变化(360度)可计算得每一度相位变化处的相对高度，大幅提升量测分辨率。 28、问：白光干涉仪是否需要每次开机校正？ 答：不需要每次开机校正，校正OK后，只要没有经过搬动或工作台做新的调整，一般都不重新校正，这也是该设备的一个亮点。 29、问：改产品纵向扫描范围是150微米，如果扫描更大行程尺寸，是否可以分段扫描在叠加在一起？ 答：是不可以的，如果产品尺寸在纵向超过150微米，是不能测量到的。 30、问：有一个产品有100mm*50mm，用该设备只能扫描很小区域，如果扫描整个平面的粗糙度，是否可以？ 答：因为此类设备是纳米级设备，主要测量产品的微观尺寸及表面等特征，所以测量的一般都是很小的点区域，但是对于此设备的概念及一般客户的需求，这样大小区域各种特征的测试已经足够，至于像您提到的100mm*50mm大小的整个平面的平面度是无法测量的，不过可以多测量一些点，做为参考。 31、问：线上设备主要用来测什么呢？ 答：线上设备主要也是检测彩色滤光片上的 photo spacer的高度，还有就是彩色滤光片与TFT基板贴合对位的检测。 32、问：该设备可否测涂层厚度，涂层如果有多层，是否必须进行破坏，基准面怎么选取？ 答：可以测量涂层厚度，如果有多层的话，必须在不同层间形成台阶，方可检测，如果不同层间为透光材质，理论上也可试测。 33、问：该设备工作台可以承重是多少？ 答 ：一般5公斤的承重是没问题的。 34、问：该设备一般多产品的反光率要求是多少？ 答：对产品的反光率要求一般要大于4%. 35、问：该设备在Z轴方向上的扫描范围只有150μm，但我司产品有300μm，请问贵司产品可以测吗？ 答： 如果有要求这样的扫描范围， 我们可根据您的要求来订做，因为对于这样的设备，扫描范围超过100μm已经很大，而且以我们以往客户使用情况来看，超过150μm 很少会使用到。 36、问：该设备的运动精度是多少？ 答 ：Z轴方向上的运动精度是2个μm，X、Y轴是5μm . 37、问：请问该设备扫描面积与视野大小是相同的吗？ 答：扫描面积与视野的概念在此设备上是等同的，可以为客户截图进行说明。(end)

文章内容仅供参考 (投稿) (12/23/2008)