等离子体渗氮炉常见故障现象与维修方法

作者：武汉八一零离子氮化研究所

欢迎访问e展厅 展厅 3 热处理设备展厅 退火炉, 渗碳炉, 盐浴炉, 真空炉, 淬火炉, ... 一、有电压无电流 1、炉体真空度是否达到起辉光的真空度； 2、MC-B 控制器弧显灯、故障灯是否亮； 3、阴极和阳极到炉体是否接触良好； 二、出炉工件检验不合格 1、保温时间不够； 2、保温温度不是理想的工艺温度； 3、工件温度不均匀； 4、氨气纯度不够或压力不够； 5、离子电源老化，频率发生变化； 6、真空泵抽气速度达不到； 三、频繁出现故障指示灯亮，设备无法正常工作 1． 用示波器监测两个IGBT的VGE信号是否一致（此时高压绝对不允许接通） 2． 炉内尚未起辉前（电压500V以下）的故障，通常与电阻的损坏或主回路上所有连线和连接处接触不良有关。 3． 炉内刚起辉或起辉后常出故障，有以下几种可能性 1） IGBT的吸收回路的电容虚焊或失效、电阻的损坏、二极管击穿。 2） 两个IGBT电压的偏差较大。 (end)

文章内容仅供参考 (投稿) (10/4/2008)