PAMOCVD装置及技术介绍

作者：武汉市等离子体技术研究所

欢迎访问e展厅 展厅 3 热处理设备展厅 退火炉, 渗碳炉, 盐浴炉, 真空炉, 淬火炉, ... 一、概述 PAMOCVD为“等离子体增强金属有机物化学气相沉积”技术之简称，PAMOCVD装置可用于： 1、CVD TiN涂层，表面呈金黄色，对高速钢，其硬HV1500~2000； 2、PAMOCVD Ti（CON）涂层，使金属同时具有化合物层和扩散层，膜基结合牢固。表面呈黑灰色略显黄，金属硬度可达HV1300~1500； 3、离子渗氮和多元渗，金属硬度可达HV1100左右。 涂层处理件包括：工模具、轴承、齿轮等结构件，各种有色金属件和硬质合金件，也可作装饰涂层。 Ti有机物对金属作硬质涂层可解决用TiCl4涂层对真空炉体的腐蚀，且工艺稳定。这是金属件表面改性的最新技术之一。 二、设备规格 功率：30Kw~50Kw 电压：0~2000V可调 镀膜室：Φ800×900mm（具体尺寸可根据用户要求订制） 极限真空：1×10-2mmHg 最大处理工件：400×400×600mm3 使用温度：480~700℃ 微机控制参数：真空度；温度；气体流量；气体比例；时间。 三、设备系统 设备包括： 1、直流脉冲电源； 2、真空炉体； 3、真空系统； 4、进气系统； 5、气体净化系统等。 如下图所示 四、使用寿命比 1.Φ6.8mm钻头：北京量刃具厂按国家标准（加大转速）对比试验内结果如下： *高速钢未涂层钻头，平均钻12孔，磨损超差报废。 *TiCl4涂层TiN钻头，平均钻20孔，比不涂层钻头使用受命提高一倍左右。 *Ti有机物涂层Ti（CNO）钻头，平均钻46孔，比不涂层钻头使用寿命提高2~3倍。 2.深圳超艺实业公司，武汉汽车标准件厂，武汉冠华螺丝厂，安徽合肥9023信箱，鄂城钢厂使用该设备处理的冲头、模具、齿轮等使用寿命均提高一倍以上。 3.台湾伟钛公司购置PAMOCVD-30装置一台，处理自攻螺丝冲头600多个，平均使用寿命提高一倍以上。H(end)

文章内容仅供参考 (投稿) (如果您是本文作者，请点击此处) (6/30/2005)